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事例紹介

Si基板へのレーザーミラー検討依頼

【お問い合わせ内容】

Si基板へのレーザーミラー検討依頼

要求仕様

  • 基材:Siウエハー
  • 光学特性:反射率95%以上(波長:980nm)

提案内容

上記光学特性を満たす光学設計を行い提案

結果

Siウエハーへのレーザーミラーコーティングを行い納入
光学特性(実測):反射率95%以上(波長:980nm)

実績

光物性研究用途に使用

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